“芯”欣向荣,未来可期。位于蚌埠龙子湖畔的中国传感谷,正聚力打造千亿级智能传感器全产业链产业集群,一群怀揣梦想、求真务实的科技工作者正奋战在科研战场,积极推动我市智能传感器产业高质量发展。朱小燕就是其中的一位。
近日,中国兵器工业第二一四研究所里,一身工作服的朱小燕才从车间出来,匆忙扒了一口饭,脑子里还在想着刚刚的测试数据。
传感器是人工智能硬件设施里的“神经元”,也是物联网最重要的“元器件”之一,是培育和发展新质生产力的重要基础性器件。通过它,能让人与物“对话”、物与物“互通”,实现“万物互联”。
工作中的朱小燕。
多年来,朱小燕一直工作在国产智能传感器及集成电路研制第一线,与团队一起不断探索、精益求精,自主研发的产品多次打破了国外技术封锁,参与研制的某低噪声放大电路,填补了国内空白,目前已批量应用。
作为中国三大传感器研发制造基地之一的蚌埠,是全省唯一、全国为数不多的同时拥有集成电路及MEMS晶圆生产线的城市。“蚌埠产业基础好、起步早、发展快,我也赶上了好时代。”朱小燕告诉记者,2012年,她研究生毕业后,就进入中国兵器工业第二一四研究所从事半导体工艺及PCM测试技术研究。
为应对复杂严峻的国际形势,2014年起,在中国兵器工业集团和蚌埠市政府的大力支持下,中国兵器工业第二一四研究所开始在蚌埠建设6英寸半导体集成电路工艺线。
朱小燕作为核心技术骨干,被任命为测试工艺班组长,负责PCM及在线测试设备的论证选型、安装调试、验收及使用维护,同时承担测试程序开发、测试方法与规范建立、测试标准设定等各种工作。
“摸石头过河,反复尝试摸索。”朱小燕说,由于是首次建设6英寸工艺线,他们遇到了许多问题,也没有经验可借鉴。为加速6英寸半导体工艺线建设,降低运行成本,抢抓半导体产业发展的历史机遇,她和团队的同事们天天加班加点、查阅文献资料、咨询设备厂家、请教同行经验、学习先进技术、探究测试原理。
通过坚持不懈的努力,她带领班组按时完成近20台测试设备的安装调试与验收,编写形成各型号测试设备规程10份、各类电路PCM测试规范22份、在线工艺检测规范3份……
功夫不负有心人,在朱小燕及班组人员的共同努力下,2016年,PCM及在线测试工艺模块建立,具备PCM及在线测试能力,保障了6英寸半导体集成电路工艺线的顺利运行。
近年来,蚌埠紧抓机遇,加快培育和发展新质生产力,把智能传感器产业集群作为全市重点打造的五大产业集群之一,依托中国兵器工业第二一四研究所等大院大所和龙头企业,建成国家级微电子机械系统(MEMS)国家地方联合工程实验室和“安徽省智能传感器创新中心”等,聚力打造中国传感谷,推动要素集聚,加快平台建设,着力构建产业链、形成产业集群、打造产业生态,在全国智能传感器产业发展中走在前列。
在高端放大器电路领域,我国曾长期依赖进口,国内鲜有全自主研制。朱小燕和团队成员一起,不畏艰难,勇挑重担,承担起两款高性能放大器电路研制工作。
近年来,基于蚌埠6英寸半导体工艺线,朱小燕和团队自主开发器件结构、工艺技术、测试方法,大胆假设,小心求证,不断迭代试验,经过三年技术攻关,突破了参数一致性差、温度漂移大等高性能放大器研制中的一系列“卡脖子”问题,将该放大器的电路精度大幅提升,电路性能指标达到国外对标产品水平。
在某图像传感器研制项目中,朱小燕通过千万次的测试与调试,不仅评估了器件性能,而且能够定位器件的缺陷位置及种类,为器件优化设计和工艺改进提供重要数据来源。目前,该图像传感器及工艺技术,处于国际领先水平,打破了国外技术封锁。同时,她参与研制的某低噪声放大电路,填补了国内空白。
她还带领班组签订“师带徒”协议,把自己学到的先进技术毫无保留地分享给同事,和同事们共同提高、共同进步。
岁月不负耕耘,奋斗必有回响。
近年来,朱小燕参与国家级和省部级重点科研项目20余项,获得专利授权4项,国防科学技术进步奖、蚌埠市“三八红旗手”……一路披荆斩棘,成为技术尖兵,绽放光芒。
“科研就像跑马拉松,大家一起坚定信心、一起跑,才能迎来最终胜利。”朱小燕说,智能传感器的星辰大海,是她值得投入全部精力去探索奋斗的毕生事业。(蚌报融媒体记者 周芳林 通讯员 陈浩凌 文/图)
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