随着人工智能、物联网、数字经济、智能装备、元宇宙等产业的快速发展，MEMS传感器的需求量在快速增长。根据 Yole 的 数据，2020 年全球 MEMS 行业市场规模为 120.48 亿美元，预计 2026 年市场规模将达到 182.56 亿美元。

国内MEMS传感器市场巨大，据赛迪顾问报告称，预计到2023年中国MEMS市场规模将超过1200亿元，然而中国目前中高端传感器还是以进口为主，尤其是在智能传感器方面，和国外还有巨大的差距。

为了尽快满足国内对中高端智能传感器的大量应用需求，提高本土广泛应用场景的数字化和智能化，构建多领域、深层次的国际科技合作体系，引导先进技术实现本土产业化、国产化尤为重要。

在此背景下，平湖经济技术开发区和德国汉希科特应用研究院共同成立了汉希科特半导体技术（平湖）有限公司（简称“汉希科特（平湖）”）。德国汉希科特应用研究院成立于1990年，是位于德国巴登符腾堡州半导体的一家州立微系统传感器应用研究院，专注于硅基技术、微传感器开发、电子和微电子系统以及软件解决方案，在该领域研究中有极强的竞争力。

作为德国汉希科特应用研究院在全球的第一家海外市场拓展机构，汉希科特（平湖）创立初衷是希望将德国先进的微系统传感器制造技术在中国市场实现国产化，尝试将各类高质量传感器应用到相关产业领域。

据悉，汉希科特（平湖）拥有成熟的研发平台、设施设备和人才队伍，设立了专门的研发实验室，研发办公室，万级洁净车间和加工车间。

3月29日，感知芯视界在2023深圳国际传感器与应用技术展览会上采访了汉希科特（平湖）总经理钟锐，请她分享了汉希科特带来的亮点展品以及企业在传感器技术研发、市场应用等方面的技术优势、未来的发力方向。

图片图：汉希科特半导体技术（平湖）有限公司总经理钟锐

以下是专访对话内容：

Q：请您介绍汉希科特（平湖）在深圳国际传感器展会上带来了哪些亮点产品？

钟锐：我们带来了一些德国汉希科特应用研究院比较成熟的产品，希望可以对接中国市场，比如流量传感器、微流控式细胞打印头以及气体传感器等。德国汉希科特应用研究院已经有70年的历史，成立于1953年，最初是钟表制造研究所，自1980年MEMS技术兴起时，开始研发MEMS传感器，1981年改为微系统应用研究院，在MEMS行业积累了很多专业的产品。

Q：目前咱们的产品都是基于德国的技术来做？

钟锐：是的，因为MEMS传感器开发的流程非常长，一款产品从开发走到市场应用需要花费很多年的时间。我们现在希望把汉希科特（平湖）做成一个平台，把德国成熟的技术、成熟的产品引进过来对接中国的市场。实际上这个对接过程也是需要时间的，因为MEMS传感器类似于非标定制产品，每个企业、每个客户都有自己特殊的需求，我们需要对接本地化的需求，并进行落地应用。

Q：请您谈谈汉希科特（平湖）跟德国汉希科特应用研究院的合作模式是怎么样的？

钟锐：可以把我们看成是一家人。目前我们在平湖正在组建中国设计和工艺团队。因为MEMS比较特殊，它需要有一条产线来做支撑，我们也在规划未来建设一条MEMS制造中试线。

在产品开发方面，我们正在做逐步的转移。我们希望把德国的技术引进到中国来，逐步实现国产化。比如在MEMS产品封测方面，我们已在平湖建设了一条封测中试线。

Q：德国跟国内市场也不一样，人才团队建设重点也不同？

钟锐：确实如此，尽管产品、场景是类似的，但国内市场跟国外市场是不同的。所以我们在国内的人才很看重应用工程师。电路和应用这两块是我们最先组建的团队。

Q：请您介绍一下具体的产品应用案例？

钟锐：我先给大家介绍一下德国汉希科应用研究院那边的应用案例。比如流量传感器用在工业以及汽车上。实际上，这款流量传感器在德国的应用非常多，客户的范围也会非常广。

德国汉希科特应用研究院并不是只做协助开发，他可以提供的服务种类非常多。比如，可以根据欧洲传感器大厂客户的需要提供MEMS芯片的设计；此外，汉希科特还拥有晶圆制造6寸和8寸产线，24小时运行，可以为客户提供MEMS芯片代工服务。德国汉希科特应用研究院的流量传感器、气体传感器、陀螺仪以及微流控等产品，遍布世界多地。

Q：请您谈谈汉希科特（平湖）的产品跟国内的竞品比，有哪些方面的优势？

钟锐：首先是来源比较可控，因为芯片来源都是我们自己可掌握的。其次，我们在国内有稳定的合作晶圆厂，产能也相对有保障。未来，我们希望逐渐把这个产品工艺开发放在国内，最后实现全产业链自主可控。

Q：请问你们的目标应用领域是汽车还是工业？

钟锐：我们汉希科特主要做工业市场，但也会服务于做汽车产品的公司。

Q：请问汉希科特在中国这边的研究院和公司，未来方向上会以哪个为主？

钟锐：两个都要同时运行的。我们是带着德国汉希科特应用研究院的使命来创立汉希科特（平湖）的。我们希望将德国微系统应用研究院的模式在中国的市场和研究机构环境下进行衍生推行，将德国先进的微系统传感器制造技术在中国市场的驱动下，实现国产化。

德国汉希科特应用研究院是采用非营利模式来运营的。收益投入到设备更新和扩大厂房建设中，以保持跟客户企业同样的生产水平。我们当时成立汉希科特（平湖）的时候，获得了德国研究院的院长、领导们的大力支持。他们都是做技术出身，希望把自己的技术用到有需要的地方，不分国界。

汉希科特（平湖）研究院是秉持着为中国市场服务的初心，一方面做新产品和未来产品方向的开发和研发，带有研究所的性质。从企业角度来看，我们是公司化运作，为企业提供开发服务和定制化MEMS传感器。具体服务模式，是多样化的。

Q：请您谈谈德国汉希科特研究院有哪些方面的经验值得我们去借鉴？

钟锐：我觉得这个问题提得很中肯。

德国研究院一般分为两种。一种是科学研究院，比如“量子之父”马克斯·普朗克是做科学研究的，有很多的专利、发明等；另外一种是做应用技术的研究院，比如弗朗霍夫研究所，主要是研究技术如何产业化落地。

德国汉希科特应用研究院类似于后者，独特的地方在于汉希科特有MEMS传感器芯片制造生产线。很多合作企业即使拿到了MEMS传感器的工艺技术，他们的产线很难制造出所需芯片，所以委托汉希科特来提供代工服务。因此，汉希科特就变成了一个可提供MEMS传感器的制造代工的研究所。我们也考虑在中国也可以把这一块发扬光大，为周边企业做高精度的MEMS传感器代工服务。

另一方面，德国汉希科特跟企业的紧密合作，是值得我们学习的。汉希科特位于巴登符腾堡州四个地方，在斯图加特大学，乌尔姆大学，弗莱堡大学，总部位于威灵根施威灵根。巴登符腾堡州有大量的工业企业，为了可以支持这些企业，汉希科特在的四个机构，为企业提供定制化MEMS传感器研发和制造服务。

中国跟德国的企业是不同的。比如，在德国，汉希科特会跟其它传感器公司或者生产企业的部门合作，一起开发产品；但在中国，可能中小型企业目前还不具备技术研发能力，他们往往会给出需求，我们来提供量产前的样品或者直接提供产品。

总的来说，中德两地的企业发展情况不同，我们也需要向中国的应用研究所学习宝贵经验，二者要相互结合、因地制宜。我们始终保持开放合作的模式，目的是为中国客户提供稳定的中高端的传感器。

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来 源：感知芯视界

编辑：仪器仪表WXF

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