2024年9月29日，市场监管总局（国家标准委）发布2024年第22号国家标准公告，批准发布《微机电系统（MEMS）技术 传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法》（GB/T 44513-2024）等六项微机电系统（MEMS）技术国家标准，计划于2025年4月前陆续实施。这六项国家标准由全国微机电技术标准化技术委员会（SAC/TC336）归口，明确了MEMS材料界面结合能的四点弯曲试验方法、MEMS膜残余应力试验方法等内容，在全国范围内进一步统一了对MEMS相关试验、测量方法及技术规范的认识，对推动微机电系统技术发展以及后续相关标准研制具有重要意义。

全国微机电技术标准化技术委员会（TC336）于2008年11月成立，秘书处设在中机生产力促进中心有限公司。下一步，为推动微机电系统技术标准的实施和应用，全国微机电技术标准化技术委员会（SAC/TC336）将组织MEMS行业专家和有关单位编制标准解读和宣贯教材，系统开展微机电系统技术的基础知识培训和国家标准宣贯工作。

近年来，为支撑国内MEMS行业高质量发展，全国微机电技术标准化技术委员会（SAC/TC336）聚焦MEMS产品全生命周期各关键环节，在共性基础、设计及评价、制造与检测、器件可靠性等方面组织制定了49项标准，其中已发布国家标准36项。

关键词:MEMS 国家标准

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来 源：中机研标准技术研究院

编辑：清风

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