突破‘卡脖子’技术，淄博智造再添新成果！近期，宇鸿敏芯（山东）电子科技有限公司自主研发的溅射金属基高精纳米膜芯体实现量产，填补国内高端传感器领域空白。这家成立仅一年的企业如何攻克技术难关？国产传感器如何逆势突围？

记者走进宇鸿敏芯（山东）电子科技有限公司的展厅，可以看到一枚直径不足1厘米的精密器件，正是企业打破国外垄断的“秘密武器”——溅射金属基高精纳米膜芯体。别看它体积小巧，却是压力传感器的“心脏”，可以产品提高产品在高温、高压、灰尘、潮湿等恶劣环境下的长期稳定性和可靠性。宇鸿敏芯自主研发的溅射金属基高精纳米膜芯体，采用国际领先的MEMS加工工艺，将纳米薄膜应变电阻直接集成于金属弹性体表面，实现敏感元件与弹性体的原子级结合。这项技术使国产传感器首次作为自创产品在石油勘探、航空航天等高端领域达到国际标准。

宇鸿敏芯（山东）电子科技有限公司总工程师崔雪岩表示，公司自主研发的溅射薄膜压力传感器芯体不仅仅实现了国内“零”的突破，而且相关参数在国际相关企业产品中也是遥遥领先，其最高测量量程达到了380兆帕，相对于传统压力传感器60兆帕的测量量程，达到了一个几倍的递增，年漂移精度仅仅只有千分之一，相对于其它压力传感器，年漂移精度达到千分之三、或者千分之五的精度，性能技术参数是遥遥领先。该产品的测试数据显示：-50℃极寒到300℃炙烤，精度波动小于0.1%；承受3800倍大气压冲击后，信号输出依然稳定。正是这些指标，让国产传感器顺利进入卫星推进器供应商名录。

宇鸿敏芯（山东）电子科技有限公司研发部主任罗静怡表示，之所以能够达到这样的技术指标，是因为企业在科技研发方面不断地投入。比如设备方面，成功参与研发并改进了全自动步进式紫外光刻机、全自动喷胶机等仪器，并联合高校共建联合实验室，强化技术转化能力。在人才团队建设上，目前拥有的研发团队硕士占比达50%，并聘请了多位半导体领域的国家级专家担任技术顾问，通过产学研合作持续突破技术瓶颈，加强自身在溅射薄膜工艺领域的竞争力。

目前，宇鸿敏芯已拥有千、百级净化车间与多条产线，具备30万枚芯(片)体、10万支压力传感器年产能力。研发及工艺设备近200台套，具备较完备的设计研发力学传感器技术平台，助力技术创新与产品升级。同时，宇鸿敏芯已拥有自主知识产权二十余项，为企业的持续发展提供了强大的技术支撑和竞争优势。下一步，宇鸿敏芯将逐步实现技术研发成果转换，达成年产100万支芯体，30万支传感器的产能规划，向汽车电子、医疗电子、通讯电子领域的拓展布局。同时，依托国内国际双循环战略，企业正推动"中国技术+中国标准"深度参与全球竞争，通过主导国际标准制定、建设海外联合创新中心，让"中国创造"从价值链参与者蜕变为规则制定者。

企业是科技创新的主体，也是推动高质量发展的生力军，而企业的集聚效应，又成为反向推动企业个体创新发展的助推器。选择入驻“中国MEMS传感器十大园区”之一的齐鲁智能微系统创新产业基地，宇鸿敏芯看中的正是园区“一公里生态圈”的聚变效应。在这里，从特种合金材料到微米加工，从封装测试到智能校准，数十家上下游企业环环相扣，让宇鸿敏芯有了更大的发展空间。

宇鸿敏芯（山东）电子科技有限公司生产部经理许凯表示，园区具有较为完善的MEMS产业链、仪器仪表产业链的上下游配置。园区内的精密机加配套让企业产品在结构改良升级方面可以快速反应；与MEMS研究院、山东理工大学等合作，提高了企业产品的技术更新迭代速度；相对完善的供应链配套让生产研发的成本更低、速度更快，让产品更加具有市场竞争力。

据悉，齐鲁智能微系统创新产业基地以MEMS、光电子、智能机器人为主导产业，聚有重点企业100余家，其中高新技术企业42家，智洋创新科创板上市，亚华电子创业板上市、新恒汇电子创业板过会，信通电子主板过会，齐芯微、瑞邦智能装备、深川变频等上市后备企业6家，国家级专精特新“小巨人”企业8家，省级“专精特新”中小企业30家，省瞪羚企业10家。拥有国产自主可控的光纤水听器、国内首款86寸金属网格铜柔性触控屏等打破国际垄断和国际先进项目的高端产业项目32个，2021年和2022年连续被省工信厅评为“省级数字经济园区”，2023年入选“中国MEMS传感器十大园区”，并被省科技厅评为“省级科技企业加速器”，2024年入选省工信厅认定的“山东省首批数字产业集群”，淄博高新区智能微系统加速器在2024年度省级科技企业孵化载体绩效评价中获评优秀。

智能制造产业发展中心始终都将企业服务作为园区高质量发展的关键抓手，创新实施“智能制造中心+国投公司+产业基金+N服务”的管理服务体制、“九个一”平台双招双引机制及研发产业化机制，着力打造“政产学研金服用”完整的生态体系。今年以来，智能制造中心聚焦高质量发展提升行动和项目攻坚“双百行动”，建立并完善园区“需求库”，通过走访调研园区80余家企业，就产业发展、人才引育、科技创新、企业培育、融资需求及员工食宿保障等方面开展调研，详细记录企业诉求80余条并分类建立台账5份，以期实现全要素嫁接园区，聚力打造“最优服务园区”。

下一步，智能制造中心将聚焦重点企业精准服务、靶向出击，深耕校企合作和乡贤资源，开展企业“双向奔赴”等服务对接活动，精准扶持企业“拔节成长”，力争建成北方最大的、最有影响力的智能制造产业集群。

关键词:MEMS传感器 宇鸿敏芯

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来 源：淄博高新

编辑：清风

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