从设计、制造、封装、测试到最后的终端出厂和销售，一枚小小的芯片，要经历一个复杂而又漫长的流程。

对于这些流程，许多半导体从业者都能如数家珍。然而，半导体厂房的建设图景却鲜为人知。6月25日，怀揣对芯片厂房的好奇，记者走进重庆首个8英寸MEMS特色芯片全产业链项目——奥松半导体 8 英寸 MEMS 特色芯片 IDM 产业基地一期项目（以下简称“奥松半导体”）建设现场，揭露芯片厂房长啥样。

▲项目建设现场。受访单位供图

在位于重庆高新区曾凤路上，一栋栋泛着金属光泽的银灰相间建筑格外醒目——这是奥松半导体项目的所在地。该项目作为重庆半导体产业生态的重要一环，建成后，将有力保障数字城市、新能源汽车等众多支柱产业和新兴产业核心部件的供应链安全，为国内新质生产力产业体系构建注入强大动力。

目前，该项目建设进入倒计时，正在进行核心工艺设备搬入前准备，预计8月正式通线试产。

▲项目建设现场。受访单位供图

步入快要成型的无尘车间，地面的特殊构造立即吸引了记者的注意：原以为是工业毛坯的水泥地面，竟密布着规则排列的圆形状孔洞。

“很多人第一次看到，可能会好奇为什么地上有那么多孔洞。”奥松半导体项目负责人李忠告诉记者，这些间距有序分布的孔洞实则叫“华夫筒”，它的作用是使洁净气流更均匀地从天花板送风孔流出，已逐渐成为高端半导体厂房的标配技术。

“为什么半导体厂房洁净室有黄光区？”记者好奇追问。原来黄光区是光刻工艺的核心区域，其主要作用是通过特殊波长的黄光照明为光刻胶处理提供安全环境，避免紫外线和短波长可见光导致光刻胶提前发生化学反应。这个区域在涂胶、曝光前处理和显影等关键工序中发挥着不可替代的作用，既能保护光敏材料不受干扰，又能维持工艺稳定性，同时配合超高洁净环境，确保光刻工艺的精度和芯片制造的良率。

▲快要成型的芯片生产无尘车间。受访单位供图

“黄光波长避开了光刻胶敏感的紫外波段，可确保光刻胶不会因环境光意外曝光，避免图案损坏。”李忠解释道。

据了解，芯片生产除了对环境的要求极为苛刻外，更对洁净度有着超乎寻常的标准——这种“超净化”要求直接体现在厂房设计上：芯片厂房的外立面几乎不设置窗户，以从建筑结构层面隔绝外界污染。

据透露，项目正在对场地进行深度清洁与精密检测，从地面平整度到墙面密封性，为7月中旬的关键设备进场做准备。项目全面投产后，将成为重庆首个8英寸MEMS特色芯片全产业链项目，实现各类MEMS半导体传感器产品从研发到量产的无缝衔接。年产数亿颗高端传感器的产能规模，产品涵盖温湿度、压力、气体、光电等多个品类，性能指标将达到国际先进水平。

▲项目效果图。受访单位供图

重庆作为西部工业重镇，近年来以功率半导体和传感器芯片为突破口，充分发挥汽车、电子信息等产业优势，通过政策引导和重大项目布局，正快速崛起为集成电路产业的新兴高地。奥松半导体项目的落地投产，将进一步巩固重庆在MEMS传感器领域的领先优势。

“科学城已形成完整的集成电路产业链，随着奥松半导体等企业的加入，科学城的集成电路产业将迎来更加繁荣的发展局面。”科学城有关负责人表示，目前，科学城已构建了从EDA平台、共享IP库、芯片设计、制造到封装测试的集成电路全新产业链，吸引了SK海力士、华润微电子、中国电科等一批知名集成电路企业聚集发展，初步形成涵盖人才培养、产业孵化、验证仿真、工艺服务的产业创新生态。

关键词:MEMS 芯片 奥松半导体

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来 源：西部重庆科学城

编辑：清风

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