中试平台建设迎来新突破！7月11日，由广东微纳院建设的“半导体微纳加工、半导体材料外延”两大中试平台实现产线贯通，吸引12家企业签约合作项目，合作高校、院所、企业代表超180人参加，加速佛山半导体产业向“芯”发展。

广东微纳院半导体微纳加工中试平台通线。

12个项目签约

强化企业集聚效应

活动上，“半导体微纳加工、半导体材料外延”两大中试平台各签约6个项目，将为半导体企业提供中试流片、客制化材料外延生长等多个服务。另外平台通线后，具备8吋硅晶圆和氮化镓晶圆加工能力，2-8吋氮化镓基材料外延生长能力；其中晶圆加工产能为8吋5000片/月，材料外延生长总产能为4吋4000片/月。

半导体微纳加工中试平台项目签约仪式。

其中，半导体材料外延中试平台签约客户、广州市鸿利秉一光电科技有限公司，主要生产紫外发光二极管、半导体激光器等半导体产品，多用于光固化、光医疗、消菌杀毒等领域。目前，国内在半导体激光芯片，尤其是绿光芯片的生产封装方面遇到了较大的技术瓶颈，企业刚好依托平台提供相应的设备及技术支持，实现技术难题突破。

“我们主要看中广东微纳院有很多新型的、先进的设备，可以依托微纳院进行芯片定制研发，再由我们进行封装技术攻关，一起推动紫外发光二极管和半导体激光器产品发展。”广州市鸿利秉一光电科技有限公司研发总监任荣斌说道。

而另一家签约半导体微纳加工平台的企业——红与蓝半导体（佛山）有限公司，则看中了省、市、区各级政府对平台的大力支持，以及平台强大的资源背景。

“企业落户佛山以来，受到市、区各级政府的大力支持。而且平台在中国科学院苏州纳米所的支持下，组建了一支非常专业的团队，无论在设备维护、保养、操作、运行等各个方面，都能为企业进行工艺研发提供了强有力的支撑，吸引我们不断将资源向佛山倾斜。”红与蓝半导体（佛山）有限公司董事长杨战武表示，企业聚焦宽禁带化合物半导体材料，尤其是氮化镓技术和产品的研发、制造。而目前平台所能提供的8吋5000片/月的氮化镓晶圆加工能力，对企业来说是一个巨大的福音。

截至目前，广东微纳院累计孵化引进各类半导体企业43家，企业估值超过30亿元，在半导体微纳加工和材料外延表征等方面形成显著的特色和竞争力。

二期建设封顶

提升平台服务容量

活动当天，历时一年半建设的广东微纳院二期，迎来了封顶仪式。

广东微纳院二期封顶仪式。

依托半导体中试平台，广东微纳院二期建设于2023年3月启动，定位为产业孵化区，建有6万㎡专业化半导体产业载体，其中洁净厂房3.4万平方米，预计2025年一季度设备安装进场、二季度建成投产，将打造成为华南地区洁净面积最大、产业链覆盖最全的专业化技术驱动型主题园区。

广东微纳院副院长王晖介绍中试平台规划与建设情况。

广东微纳院副院长王晖表示，将一个毛坯的厂房变成能让企业入驻后直接使用的洁净车间，是一个非常复杂的系统性工程。其中包括水电气以及各种环评资质，并非所有企业都具备建设半导体厂房的专业能力和充足资金。“我们把半导体发展所需要素都先准备好，让企业做到进驻即生产，从客户变成邻居。”

据悉，平台除了能提供专业设备、帮助企业进行半导体芯片技术攻关等中试服务外，还为企业提供了超净场地，方便企业直接入驻，与平台共建产线、共研技术、共育人才。以红与蓝半导体企业为例，入驻平台后已在产线上完成氮化镓（功率半导体）单步工艺调试，并于近期实现批量生产。预计后续完成良品率及成本（调优）后，可初步形成年产（值）2000万元的产业化合作。

接下来，广东微纳院还将持续扩大平台建设。一是计划投入约3亿元购置新型设备，满足日益增长的产能和企业个性化需求。二是推动三期产业加速区建设，建设标准厂房，打造半导体装备、材料、器件等上下游产业主题园区。三是谋划四期建设。“距离微纳院一两公里，有大概五六百亩地，如果后期需要开展四期建设，也是我们的选择之一，政府部门也在帮我们规划。”王晖说道。

市、区联动协力

加快半导体人才培养

《佛山市半导体及集成电路产业集群发展行动方案（2022-2025年）》提出，加强区域内行业企业和高校院所等开展沟通交流、技术合作活动，到2025年形成本地特色的半导体专业人才引进培养体系。

广东微纳院与华师大工学部签约合作，共育半导体人才。

活动上，广东微纳院还与华南师范大学工学部举行了合作签约仪式，并与广东绿展科技有限公司、广东汇芯半导体有限公司、广东鸿浩半导体设备有限公司等三家企业分别达成产学研合作，多方将开展多层次、多形式的合作，探索“企业家+科学家+工程师”的科技成果转化新模式，以高校资源赋能、以科研院所工程化能力支撑，加速人才链、创新链和产业链的深度融合，实现科技与产业双向奔赴。

广东微纳院、华南师范大学工学部与三家南海企业签订产学研合作协议。

据悉，7月9日，南海启动全面深化校地融合高质量发展行动，并发布《关于加强校地合作推动科技创新和产业创新深度融合的工作方案》，将与区内10所高校（高职）全面深化战略合作，通过优势互补、资源共享，高质量建设湾区产业科技创新高地，打造国内具有竞争力的科技创新开放环境，推动产业与科技互促双强。

“今天，广东微纳院与华师大工学部合作签约，是南海全面深化校地融合高质量发展系列活动的第二站，双方将在成果转化、仪器共享、人才培养和创新创业等方面开展合作。”南海区副区长劳剑峰表示，南海促成华师大工学部与广东微纳院的合作签约，也是希望能够将南海的这些资源与华师大工学部的资源进行共享，通过强强联合，以科技创新推动产业创新，努力促进社会生产力实现新的跃升。

关键词:广东微纳院 中试平台

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来 源：佛山市新闻传媒中心

编辑：清风

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