近日，广州五所环境仪器有限公司牵头主持的国家重点研发计划“基础科研条件与重大科学仪器设备研发”重点专项“半导体功率器件多参数综合测试仪”项目启动会暨实施方案论证会在电子五所广州增城总部顺利召开。项目专家组7位专家现场出席会议，工业和信息化部高新技术司未来产业处和项目管理单位中国21世纪议程管理中心领导，电子五所党委书记恩云飞、有关部门负责人，项目负责人、各课题负责人与项目组骨干等40余人参加了此次会议。

图1 项目启动会暨实施方案论证会会议现场

本项目汇聚了工业和信息化部电子第五研究所、广州五所环境仪器有限公司、博测锐创半导体科技(苏州)有限公司、中国科学院电工研究所、合肥工业大学、西安交通大学、电子科技大学、北京智芯微电子有限公司等八家高校、研究所和重点企业的优秀研究人员，我所重点实验室陈媛研究员任项目负责人。半导体功率器件多参数综合测试仪是对半导体功率器件进行电学性能参数测试的硬件和软件一体化的设备。随着我国电动汽车、轨道交通、电网等产业的快速发展，对高性能和高效能的半导体功率器件特别是SiC、GaN、Ga2O3等宽禁带半导体器件有着巨大的需求，宽禁带半导体功率器件具有击穿电压更高、电流能力更强、开关速度更快等工作特点，对半导体功率器件多参数综合测试仪的性能指标提出了更高的要求。目前，国外kV/kA级的半导体功率器件多参数综合测试仪主要被美国、日本等国外厂商所垄断，国内部分厂家近年来也开始自主研发生产，但仪器的性能指标、精度水平、可靠性及稳定性普遍落后于国外仪器。本项目旨在开发具有自主知识产权、质量稳定可靠、核心部件国产化的半导体功率器件多参数综合测试仪，实现国产化替代。

此次会议圆满落幕之后，各承研单位之间将更加紧密地合作，实现优势互补，协调共进，力求高质量完成项目各项研究任务。

图2  项目组向专家组介绍综合测试仪的原型样机

图3  项目启动会暨实施方案论证会合影

关键词:半导体功率器件多参数综合测试仪

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来 源：赛宝视窗

编辑：清风

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