中试平台建设迎来新突破!7月11日,由广东微纳院建设的“半导体微纳加工、半导体材料外延”两大中试平台实现产线贯通,吸引12家企业签约合作项目,合作高校、院所、企业代表超180人参加,加速佛山半导体产业向“芯”发展。
广东微纳院半导体微纳加工中试平台通线。
12个项目签约
强化企业集聚效应
活动上,“半导体微纳加工、半导体材料外延”两大中试平台各签约6个项目,将为半导体企业提供中试流片、客制化材料外延生长等多个服务。另外平台通线后,具备8吋硅晶圆和氮化镓晶圆加工能力,2-8吋氮化镓基材料外延生长能力;其中晶圆加工产能为8吋5000片/月,材料外延生长总产能为4吋4000片/月。
半导体微纳加工中试平台项目签约仪式。
其中,半导体材料外延中试平台签约客户、广州市鸿利秉一光电科技有限公司,主要生产紫外发光二极管、半导体激光器等半导体产品,多用于光固化、光医疗、消菌杀毒等领域。目前,国内在半导体激光芯片,尤其是绿光芯片的生产封装方面遇到了较大的技术瓶颈,企业刚好依托平台提供相应的设备及技术支持,实现技术难题突破。
“我们主要看中广东微纳院有很多新型的、先进的设备,可以依托微纳院进行芯片定制研发,再由我们进行封装技术攻关,一起推动紫外发光二极管和半导体激光器产品发展。”广州市鸿利秉一光电科技有限公司研发总监任荣斌说道。
而另一家签约半导体微纳加工平台的企业——红与蓝半导体(佛山)有限公司,则看中了省、市、区各级政府对平台的大力支持,以及平台强大的资源背景。
“企业落户佛山以来,受到市、区各级政府的大力支持。而且平台在中国科学院苏州纳米所的支持下,组建了一支非常专业的团队,无论在设备维护、保养、操作、运行等各个方面,都能为企业进行工艺研发提供了强有力的支撑,吸引我们不断将资源向佛山倾斜。”红与蓝半导体(佛山)有限公司董事长杨战武表示,企业聚焦宽禁带化合物半导体材料,尤其是氮化镓技术和产品的研发、制造。而目前平台所能提供的8吋5000片/月的氮化镓晶圆加工能力,对企业来说是一个巨大的福音。
截至目前,广东微纳院累计孵化引进各类半导体企业43家,企业估值超过30亿元,在半导体微纳加工和材料外延表征等方面形成显著的特色和竞争力。
二期建设封顶
提升平台服务容量
活动当天,历时一年半建设的广东微纳院二期,迎来了封顶仪式。
广东微纳院二期封顶仪式。
依托半导体中试平台,广东微纳院二期建设于2023年3月启动,定位为产业孵化区,建有6万㎡专业化半导体产业载体,其中洁净厂房3.4万平方米,预计2025年一季度设备安装进场、二季度建成投产,将打造成为华南地区洁净面积最大、产业链覆盖最全的专业化技术驱动型主题园区。
广东微纳院副院长王晖介绍中试平台规划与建设情况。
广东微纳院副院长王晖表示,将一个毛坯的厂房变成能让企业入驻后直接使用的洁净车间,是一个非常复杂的系统性工程。其中包括水电气以及各种环评资质,并非所有企业都具备建设半导体厂房的专业能力和充足资金。“我们把半导体发展所需要素都先准备好,让企业做到进驻即生产,从客户变成邻居。”
据悉,平台除了能提供专业设备、帮助企业进行半导体芯片技术攻关等中试服务外,还为企业提供了超净场地,方便企业直接入驻,与平台共建产线、共研技术、共育人才。以红与蓝半导体企业为例,入驻平台后已在产线上完成氮化镓(功率半导体)单步工艺调试,并于近期实现批量生产。预计后续完成良品率及成本(调优)后,可初步形成年产(值)2000万元的产业化合作。
接下来,广东微纳院还将持续扩大平台建设。一是计划投入约3亿元购置新型设备,满足日益增长的产能和企业个性化需求。二是推动三期产业加速区建设,建设标准厂房,打造半导体装备、材料、器件等上下游产业主题园区。三是谋划四期建设。“距离微纳院一两公里,有大概五六百亩地,如果后期需要开展四期建设,也是我们的选择之一,政府部门也在帮我们规划。”王晖说道。
市、区联动协力
加快半导体人才培养
《佛山市半导体及集成电路产业集群发展行动方案(2022-2025年)》提出,加强区域内行业企业和高校院所等开展沟通交流、技术合作活动,到2025年形成本地特色的半导体专业人才引进培养体系。
广东微纳院与华师大工学部签约合作,共育半导体人才。
活动上,广东微纳院还与华南师范大学工学部举行了合作签约仪式,并与广东绿展科技有限公司、广东汇芯半导体有限公司、广东鸿浩半导体设备有限公司等三家企业分别达成产学研合作,多方将开展多层次、多形式的合作,探索“企业家+科学家+工程师”的科技成果转化新模式,以高校资源赋能、以科研院所工程化能力支撑,加速人才链、创新链和产业链的深度融合,实现科技与产业双向奔赴。
广东微纳院、华南师范大学工学部与三家南海企业签订产学研合作协议。
据悉,7月9日,南海启动全面深化校地融合高质量发展行动,并发布《关于加强校地合作推动科技创新和产业创新深度融合的工作方案》,将与区内10所高校(高职)全面深化战略合作,通过优势互补、资源共享,高质量建设湾区产业科技创新高地,打造国内具有竞争力的科技创新开放环境,推动产业与科技互促双强。
“今天,广东微纳院与华师大工学部合作签约,是南海全面深化校地融合高质量发展系列活动的第二站,双方将在成果转化、仪器共享、人才培养和创新创业等方面开展合作。”南海区副区长劳剑峰表示,南海促成华师大工学部与广东微纳院的合作签约,也是希望能够将南海的这些资源与华师大工学部的资源进行共享,通过强强联合,以科技创新推动产业创新,努力促进社会生产力实现新的跃升。
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- 来 源:佛山市新闻传媒中心
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