万分级高精度MEMS谐振式压力传感器转化应用取得新进展
发布日期:2023-11-09 13:03
中国航天科技集团有限公司九院704所完成了万分级高精度MEMS谐振式压力传感器研制,为新一代装备和先进工业领域实现自主可控和升级换代提供核心关键产品。
“高精度MEMS谐振式压力传感器涉及电子、机械、材料、热学、力学、化学等多学科的复杂交互融合,涵盖基础理论、设计、工艺制程、封装测试、设备装备等多个产业链环节”。704所相关项目负责人介绍。
万分级高精度MEMS谐振式压力传感器主要技术指标比传统应变式、压阻式、电容式等原理的压力传感器高1~2个数量级,且具有数字化输出、抗干扰、长寿命和抗辐照等优点,技术指标、稳定性、可靠性和环境适应性均达到国际先进水平。目前,该产品已应用于航天发动机压力监测、航空大气数据系统等领域。
从航天航空应用到民用市场全面拓展。704所大力推进万分级高精度MEMS谐振式压力传感器在海洋、气象、计量校准、过程工业、石油化工、能源等行业的产业化应用。目前,万分级高精度MEMS谐振式压力传感器已应用于海洋监测、气象观测等领域,为实现航天技术产业价值奠定了扎实的基础。
后续,704所将基于核心MEMS敏感芯片和传感器技术,进一步开发高端仪器和感知测量系统,形成“芯片+传感器+仪器+系统”的信息感知模式,推进产品谱系化、规模化、产业化发展。
上一篇: 发现汽车天窗新亮点,这样测试更安心!
- 关键词:MEMS 谐振式压力传感器 航天
- 浏览量:14026
- 来 源:中国航天科技集团九院704所
- 编辑:清风
- 声明:凡本网注明" 来源:仪商网"的所有作品,版权均属于仪商网,未经本网授权不得转载、摘编使用。
经本网授权使用,并注明"来源:仪商网"。违反上述声明者,本网将追究其相关法律责任。
本网转载并注明自其它来源的作品,归原版权所有人所有。目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点或证实其内容的真实性,不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。如有作品的内容、版权以及其它问题的,请在作品发表之日起一周内与本网联系,否则视为放弃相关权利。
本网转载自其它媒体或授权刊载,如有作品内容、版权以及其它问题的,请联系我们。相关合作、投稿、转载授权等事宜,请联系本网。
QQ:2268148259、3050252122。 -
-
应用案例 | UT568A声学成像仪助力黄河公司海南风电分公司智能巡检产品应用|2024-04-16
-
上海微系统所在薄膜荧光传感器研究方面取得进展前沿科技|2024-04-15
-
干货分享 |航裕电源-汽车传感器测试解决方案解决方案|2024-03-08
-
北京大学高成臣团队在MEMS压力传感器领域实现多项突破前沿科技|2024-03-06
-
【应用案例】优利德UT568A声学成像仪助力水泥厂真空管道气体泄漏精准检测产品应用|2024-03-05
-
气体泄漏问题迎刃而解 | 优利德仪表产品顺利交付,助力陕西声威集团安全生产产品应用|2024-02-29
-
艾睿工业软件|睿探TAS 2.0,红外热像仪热图分析利器产品应用|2024-01-29
-
技术赋能 | 优利德UT568A声学成像仪助力声威集团解决气体泄漏难题产品应用|2024-01-23
-
利用MEMS振动传感器实现汽车外部拾音技术分析|2023-12-22
-
万分级高精度MEMS谐振式压力传感器转化应用取得新进展前沿科技|2023-11-09
加载更多>>
加载更多>>