5月9日，由四川省科技厅推荐，四川云盾光电科技有限公司牵头，并联合四川大学共同承担的国家重点研发计划“智能传感器”重点专项“基于氮化铝钪压电谐振式MEMS微振镜的小型化环境感知传感器开发”项目在成都双流正式启动，并成功召开实施方案论证会。

会议邀请了华中科技大学段国韬教授、苏州大学孙旭辉教授、电子科技大学陈怀新教授、电子科技大学李沫教授、中国科学院光电技术研究所严伟研究员、中国测试技术研究院汤江文正高级工程师等9名专家进行论证指导。

项目针对激光雷达精度偏低、垂直视野小、组件多、尺寸大难以满足机器人工业安全领域对系统小型集成化和近距离高精度检测需求问题，突破单微镜双轴大扭转输出及结构设计、微镜元件稳定控制、基于涂层技术的高可靠性微镜制备等关键技术，开发小体积、高频、大驱动角、低成本微镜元件，研制小型化振镜式准固激光雷达系统，在零件拾取、避障、防碰等机器人工业安全领域应用中实现技术验证。专家组听取了项目组实施方案汇报，经质询讨论，认为实施方案科学合理，路线具体明确，项目牵头单位职责明确，各项机制齐全，具有较强的可实施和可操作性，一致建议通过该实施方案。项目的成功实施将推动微镜核心敏感元件的国产化和工业应用。

云盾光电是位于成都市双流区西航港经济开发区的国家高新技术企业、四川省“专精特新”企业，主要为高可靠级应用场景及半导体装备行业提供关键部组件及分系统，包括高精度光电位移传感器、空心杯伺服电机、集成化高精度光电伺服转台及运动控制装备。2024年获批成都市中试平台（MEMS 及微光学器件产业领域），为行业提供微光机电系统集成服务。

关键词:云盾光电 智能传感器

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来 源：云盾光电

编辑：清风

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