3月20日-22日，全球规模最大、规格最高的半导体业界盛会SEMICON China 2024在上海新国际博览中心举办。作为中国尖端科学仪器装备和真空技术的领先者，中科科仪联合控股公司成都唯实、中科科美、苏州科仪、科仪光电精彩亮相，展示多项电子光学和真空技术领域创新成果，与现场参会者探讨半导体产业未来发展模式。

半导体产业不仅是信息技术产业的核心，更是支撑经济社会发展的战略性、基础性和先导性的产业，从日常生活中的家用电器、数码电子，到更为高端的通信、医疗、航空航天等领域，都扮演着举足轻重的角色，随着5G、物联网、人工智能等新兴技术的蓬勃发展，半导体产业更是迎来了前所未有的发展机遇，在这样的背景下，SEMICON China 2024的盛大举行，无疑为整个行业提供了一个展示与交流的重要平台。

电子光学检测仪器、真空获得与检测相关设备及核心零部件，是半导体器件高可靠性的重要保障。本次展会中科科仪重点展出了KYKY-EM8100型场发射枪扫描电子显微镜、CXF-320/3001CV型与CXF-100/301CS型磁悬浮分子泵、ZQJ-3300型与ZQJ-3900型E-13系列氦质谱检漏仪、系列新型真空阀门以及真空系统整体解决方案，获得现场专家学者和业界同仁的广泛认可，众多客户前来交流互动，咨询洽谈。

扫描电子显微镜可应用于半导体产业链生产制造及应用的各个环节，能否清晰地观测到生产工艺中缺陷的具体形貌和元素成分，成为解决工艺缺陷的关键因素。中科科仪在电子光学技术领域持续耕耘近60年，拥有雄厚的技术积淀和应用经验，其中具有自主知识产权的国产高分辨场发射枪扫描电子显微镜KYKY-EM8100最佳分辨率优于0.9nm，达到国际先进水平，扫描电子显微镜在硬质电路板失效分析和检测、陶瓷电容端头检测、半导体器件失效分析、微电子器件污染物鉴定、半导体器件线宽测量等方面有着广泛应用，解决了我国半导体等高端装备制造领域检测设备依赖进口的“卡脖子”问题。

真空技术作为一门与应用科学紧密结合的现代基础科学，在半导体行业有着广泛的应用。磁悬浮分子泵是半导体装备的核心零部件，应用于薄膜沉积、刻蚀、离子注入等关键工艺，提供超高真空环境，目前中科科仪的磁悬浮分子泵已通过多个设备厂商的工艺验证，并批量应用。在真空检漏方面，中科科仪推出E-13系列新型氦质谱检漏仪，具备检测精度高、检漏压强大、启动时间短、响应速度快等性能特点，拥有台式、车式、便携式、模块式等多种产品类型，便于客户灵活自由选择。系列新型真空阀门服务于晶体生长、离子束刻蚀、薄膜沉积等多个核心工艺，性能优异。此外，中科科仪的定制化真空系统整体解决方案，广泛应用于半导体、航空航天、新能源、红外与光电器件等领域。

全球半导体市场在人工智能、物联网、5G通讯数字化和智能化的浪潮下不断快速发展，对半导体检测设备和集成电路装备核心零部件的需求日益旺盛。未来，中科科仪将继续聚焦半导体市场需求，持续攻关电子光学及真空领域关键技术，抢占科技制高点，推动科技成果转化与规模产业化，攻克高端科学仪器装备与核心零部件关键领域“卡脖子”“空心化”问题，助力打好科技仪器设备国产化攻坚战！

关键词:中科科仪 半导体

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来 源：中科科仪

编辑：清风

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