氢能源是终极的清洁能源，是中国新能源未来发展的重点领域。近年来国家开始部署氢能发展与利用，国内主要车企均已开展氢燃料电池电动汽车的研发。

虽然氢能源作为一种清洁而高效的能源替代传统能源是必然趋势，但氢气易燃易爆，空气中只需含有4%的氢气就能产生氢氧气体，有时也称为氢氧混合气（knallgas），最小的火花都能将此类气体点燃。氢能源在全产业链包括氢气制备、贮存、运输和使用过程中需要诸如压力传感器、温度传感器、氢气浓度传感器等多种传感器对其内外部环境保持监测。

为了保证未来氢燃料汽车以及相关基础设施的安全，必须探测，而且氢气传感器的响应速度必须足够快速，以便在起火发生之前探测到泄露的氢气。

炜盛科技现已推出针对氢燃料电池汽车氢气泄漏检测的MEMS氢气传感器：GMV-2021B。

GMV-2021B为基于MEMS技术的半导体金属氧化物氢气传感器，半导体金属氧化物吸附氧气时， 电阻率会显著增加，当氢气等还原性气体将金属氧化物化学吸附层中的氧气还原时，电阻率会随之变化，通过检测电阻变化量即可检测氢气浓度。

极低的检测下限、快速地的响应速度

大部分半导体金属氧化物传感器都采用氧化锡作为敏感材料，可测氢气浓度范围为10ppm至20ppm，其平均响应时间在20s左右。GMV-2021B MEMS氢气传感器可检测1ppm甚至ppb级别的检测 ，响应时间在10s以内，可探测空气中微小含量的气体并快速响应。

独特的抗干扰特性，避免其它气体的干扰

选择性是半导体原理传感器很难跨越的一个技术壁垒，通常采用材料特异性、工作温度选择、神经网络算法或片上选择性富集方式来提高其抗干扰特性，但很难实现高精度抗干扰特性检测。GMV-2021B MEMS氢气传感器可实现独特的抗干扰效果，避免醇类物质、甲烷、一氧化碳等还原性气体的干扰，保证检测的准确性。

绝佳的可制造性，更适于新能源市场的应用

采用MEMS制造工艺加工而成，摒弃了传统传感器生产过程中繁琐的人工环节，使得传感器的一致性及生产效率获得极大提升。

随着国家顶层设计的推出以及各地氢燃料电池产业规划的推进，相关技术有望得到突破，规模化应用将带来成本下降，从而加快氢能源商业化应用进程，随之氢气传感器将会得到大规模的应用，而基于半导体原理的MEMS氢气传感器因其独特的优势将占据更大的市场。

关键词:炜盛科技 MEMS 氢气传感器

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来 源：炜盛传感

编辑：清风

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