国内精密测量仪器领军企业优可测今日正式发布旗舰产品 AM8000 白光干涉仪。该设备采用专利光学系统和智能算法，实现小于 1 纳米的表面形貌测量精度，标志着中国在高端光学测量领域取得重大突破。

AM8000 创新性支持 1X-10X 多倍率镜头切换，配备 300mm 大行程电控平台，可完成从 18×11mm 大视野到微孔深样品的全场景测量。其独创的 "EquiDrive 自动调平" 技术将传统 30 分钟的手动操作缩短至 5 秒，配合循环测量和批量报告导出功能，显著提升半导体晶圆、精密光学元件等复杂工件的检测效率。第三方检测显示，设备隔振稳定性较前代提升 270%，RMS 重复性达 0.0041nm。

"我们通过气浮缓冲和低重心设计，使设备对环境振动敏感度降低 80%。" 优可测技术总监透露。目前该产品已获得 TS16949 汽车行业认证，成功应用于宁德时代电池箔检测、华为芯片封装形貌分析等项目，单台设备年检测量可达 50 万件以上。

关键词:白光干涉仪 亚纳米测量 半导体检测

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来 源：仪商网

编辑：Jane

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