在晶体生长炉与等静压石墨材料的生产中，温度控制是决定产品质量与生产效率的核心环节。红外测温仪作为高温工艺的“眼睛”，其性能的长期稳定性与可靠性直接关乎晶体纯度、石墨性能一致性等关键指标。近年来，随着国产红外测温技术的突破，这一领域正经历从依赖进口到自主可控的深刻变革。

长期稳定性与可靠性对工艺的影响

晶体生长炉对温度控制有着较高的需求。在单晶硅、蓝宝石等高端晶体材料的生长过程中，炉内温度梯度的精准控制是避免晶体缺陷的关键。例如，硅单晶生长炉的温度需稳定在1500℃以上，且局部波动需控制在±1℃以内。炉内温度长期稳定性不足可能导致温控漂移，引发晶体缺陷（如位错、孪晶），成品率下降；如果红外测温仪可靠性差（如镜头污染、元件老化），极易引发突发故障，导致炉体停机和材料报废。

而在等静压石墨材料领域，石墨化炉内温度均匀性决定了材料的导电性与机械强度。国产石墨化炉企业曾面临两难选择：采用进口测温设备虽能保证2800℃高温下的测量精度，但设备成本占整炉造价15%以上；若选用早期国产设备，虽成本降至1/3，却因粉尘干扰导致温度误判率高达7%，造成每年近万吨石墨材料因局部过烧而报废。

由于石墨化炉中温度均匀性直接影响石墨的密度、强度和热导率，因此，炉内控温是等静压石墨材料生产中的关键一环。而红外测温仪需在复杂工况（粉尘、气体干扰）下连续工作数年，若测温仪失准，可能导致石墨化不充分或局部过烧，产品批次一致性下降，高端应用（半导体、核能）的石墨材料合格率降低。

因此，进口红外测温仪曾长期占据主导地位，但其高昂的成本与漫长的售后周期成为行业痛点。

这种困境正在倒逼国产技术加速迭代，新一代国产红外测温仪通过多光谱融合技术，将抗粉尘干扰能力提升至进口设备的90%，同时将高温标定误差压缩至±0.8℃，使得石墨灰分含量稳定控制在200ppm以下，达到半导体级应用标准。

国产化进程的机遇与挑战

目前，国产红外测温仪在硬件层面相比国外品牌差距已逐渐缩小，国产传感器（如InGaAs探测器）已接近国际水平，在高温标定技术、抗干扰算法和光学镜头耐污染性及散热设计等方面仍需进一步优化。在软件层面，部分国产设备已经开始集成AI温度补偿模型，其长期数据和算法鲁棒性还有待验证和提升。

在石墨材料领域，精准控温可使等静压石墨灰分含量从300ppm降至100ppm以下，满足半导体级应用需求。在稳定性、可靠性以及校准间隔有效提高后，可减少停机时间，单炉年产能有望提升5%~8%。

从成本上来看，红外测温仪国产替代后可令成本大幅下降，从而使晶体炉和石墨化炉设备整体成本下降；从供应链安全方面来看：规避进口设备交货周期长、售后响应慢的风险，保障产能稳定性；而从定制化能力上看，国产厂商可针对石墨材料生产的特殊需求（如超高温段监测）快速开发定制方案。

国产设备若实现高稳定性，可助力晶体生长炉的控温精度提升至±0.5℃，减少微缺陷密度，推动8英寸向12英寸硅片升级。另外，国产化替代降低了设备投资门槛，可加速新建产线投运。例如，石墨化产能有望从2023年的40万吨/年增至2025年的60万吨/年。

这场技术迭代正在重构产业链生态。据中国电子材料行业协会数据，2023年国产红外测温仪在晶体生长领域的渗透率已从五年前的12%提升至41%，带动单晶硅设备投资成本下降18%，石墨化产能年复合增长率达24%。更为重要的是，国产设备厂商与下游用户的深度绑定，也将催生出需求导向的创新模式。

未来建议

展望未来，国产红外测温技术的进阶之路仍需跨越两大门槛：一是建立覆盖设备全生命周期的可靠性验证体系，包括制定符合ASTM E2847标准的10年加速老化测试方案；二是突破高温黑体辐射源标定装置等核心工艺装备的自主化。在技术协同攻关方面，推动测温仪厂商与下游用户（如晶体厂、石墨企业）共建测试平台，针对性优化高温抗干扰、多光谱融合等关键技术。

红外测温仪的国产化不仅是成本问题，更是高端制造业自主可控的关键一环。若能在长期稳定性（如10年寿命验证）和极端工况适应性上突破，将直接推动我国晶体材料与高端石墨产业跻身国际第一梯队。只有实现从应用创新到基础研究的闭环突破，才能让国产测温仪真正成为支撑第三代半导体、核级石墨等战略产业发展的基石。

中科红外测温仪可实现国产化替代

中科红外测温仪传承于中科院自动化所红外测温课题组，掌握具有自主知识产权的红外测温核心技术，可为用户提供红外测温仪整体解决方案。自1962年至今，团队积累了60余年研发经验，已通过ISO19001质量管理体系认证，技术实力雄厚，制造工艺先进，管理体系科学。

主导产品有（S）CIT系列红外测温仪，将国防（原子弹、氢弹、火箭燃气测温等）红外探测技术应用于工业领域，获得CE认证、ROHS认证、计量认证。

秉承“为客户创造价值”的经营理念，中科红外系列测温仪产品广泛应用于国防、航天、冶金、热处理、化工、半导体和电力等行业，受到客户一致好评。多年来，公司承担并完成多项重点项目，多次获得中科院级及省部级科学技术进步奖。

60余年来，从研制出中国第一台红外测温仪到如今形成7大系列的产品系，从服务国防与航天领域到全面面向工业应用，中科红外始终坚定信念，步履不停，以高瞻远瞩的格局视野和自主可控的先进技术，走出了一条传承与创新的发展之路。

技术创新是中科红外不断发展的实力和底气，中科红外致力于为用户提供红外测温仪整体解决方案，以国产化替代为己任，加速对新产品、新技术的研发，为中国制造向中国智造的全面转型升级，贡献自己的力量。

关键词:红外测温仪 国产化 中科

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来 源：中科红外

编辑：清风

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