11月15日，第二十五届中国国际高新技术成果交易会（以下简称“高交会”）在深圳开幕。

记者在中国科学院专馆看到，作为尖端科学仪器和真空技术领军者——北京中科科仪股份有限公司携其全资子公司科仪光电带来了具有自主知识产权的场发射枪扫描电子显微镜产品KYKY-EM8100。据悉，这是该产品首次在高交会亮相。

中国科学院专馆

场发射枪扫描电镜是纳米技术、生物技术、医学、化学、物理学研究的重要工具，在半导体集成电路加工、微机电系统、微型传感器等信息技术支撑领域和环境保护领域也发挥着重要作用，广泛应用于金属、陶瓷、矿物、冶金、高分子、复合材料、微生物、新能源材料的表面形貌进行观察及微区的点、线、面成分分析。

同时，场发射枪扫描电镜在虫害的防治、灾害（火灾、失效分析）鉴定、刑事侦察、产品质量鉴定等方面也有广泛的应用，对于我国的基础科学研究、生产工艺控制、各分类学科的研究有着不可替代的重要地位。

针对基础科学研究和高精尖工业制造对国产场发射枪扫描电镜的迫切需求，2013年，中科科仪牵头，联合北京大学、中国科学院微电子研究所、中国科学院生物物理研究所、国家环境分析测试中心、清华大学等单位，承担国家重大科学仪器设备开发专项“场发射枪扫描电子显微镜开发和应用”，在2014年成功推出了国内首台肖特基场发射枪扫描电镜KYKY-EM8000，并在此基础上提升电子光学系统综合性能，于2017年推出了国产高端场发射枪扫描电子显微镜产品KYKY-EM8100，分辨率优于0.9nm@30kV，3nm@1kV，解决了高分辨率电子光学成像系统、系统集成调试等关键技术，成为国内首创、达到国际同类产品技术水平、具有完全自主知识产权的肖特基场发射枪扫描电子显微镜。

KYKY-EM8100场发射枪扫描电镜的技术优势主要有方面：一是自主设计制造了低像差物镜；二是突破了电子束镜筒加速技术；三是自主研制了电子光学智能化控制系统，实现了自动灯丝加热、自动偏压、自动孔径角、自动聚焦、自动亮度/对比度等电子光学智能化控制功能，还实现了图像增强、图像锐化、样品尺寸测量、形貌拟合、颗粒度分析等功能，大大提升了产品的功能性与使用便捷性，助力打好科技仪器设备国产化攻坚战。

据介绍，该款扫描电镜是北京中科科仪股份有限公司承担科技部国家重大科学仪器设备开发专项“场发射枪扫描电子显微镜开发和应用”研制成果的一部分。该设备目前已完成科技成果转化及产业化落地，并形成批量销售。

文、图 | 记者李晓旭

来源 | 羊城晚报·羊城派

关键词:国产高端场发射枪扫描电镜 高交会 科学仪器

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编辑：清风

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