近期,世界首个集材料生长、器件制备、测试分析为一体的纳米领域大科学装置——纳米真空互联综合实验站正在我国江苏苏州工业园区建设。这个实验站相当于在太空建设了一个全真空的纳米器件研发平台。
该纳米实验站是当前世界上最大的真空互联科研装置。其总体方案是:用总长近500米的超高真空管道,将上百台用于材料生长、器件制备、测试分析的大型仪器设备互联,实现样品在不同设备之间传送时其表面不被氧化、沾污,不被外界大气环境所破坏。中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所研究员、纳米真空互联实验站常务副总指挥丁孙安说,实验站通过超高空间分辨、时间分辨、能量分辨、质量分辨等的高端能力仪器设备,对物质的“本征性质”进行研究,从而实现量子材料的设计、制备和表征,后摩尔时代器件加工和测试分析,同时开展新材料、新工艺、新结构和新功能的开发和研究,以及形成第三代半导体工艺包。
“这个实验装置是在类似太空的全真空环境下的纳米器件研发平台,相当于把现有的加工设备统一搬到太空。”丁孙安说。
纳米真空互联实验站是依托中科院苏州纳米所,联合清华大学薛其坤院士团队、中科院大连化学物理研究所包信和院士团队建设的。一期建设由中科院、江苏省、苏州市和苏州工业园区共建,预计2018年建成,建设经费3.2亿元。一期建成后将连接30多台设备,形成100米的真空管道。整个实验站的总预算是15亿元。
苏州工业园区是全球纳米领域具有代表性的八大产业区域之一。中科院纳米所所长杨辉说,在此建设纳米真空互联实验站,是力图通过真空条件下的互联集成和若干重大项目验证,突破现有仪器设备的功能限制,实现材料制备、测试分析与微纳加工工艺等方面协同效应,为科研和战略性新兴产业发展提供先进的、开放性的平台。
- 关键词:仪器仪表 测试测量 装置
- 浏览量:650
- 编辑:五五
- 声明:凡本网注明" 来源:仪商网"的所有作品,版权均属于仪商网,未经本网授权不得转载、摘编使用。
经本网授权使用,并注明"来源:仪商网"。违反上述声明者,本网将追究其相关法律责任。
本网转载并注明自其它来源的作品,归原版权所有人所有。目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点或证实其内容的真实性,不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。如有作品的内容、版权以及其它问题的,请在作品发表之日起一周内与本网联系,否则视为放弃相关权利。
本网转载自其它媒体或授权刊载,如有作品内容、版权以及其它问题的,请联系我们。相关合作、投稿、转载授权等事宜,请联系本网。
QQ:2268148259、3050252122。 -
-
万亿仪器仪表产业崛起:中国高端制造的“隐形冠军”赛道行业动态|2025-02-22
-
中德智能制造/工业4.0“自动化制造与产品信息”任务组首次会议成功召开行业动态|2025-02-22
-
工信部等八部门联合印发《新型储能制造业高质量发展行动方案》热点头条|2025-02-22
-
一线工程师测评 | 大趋势下的测量利器——优利德UT252C钳形表评测热点头条|2025-02-20
-
《测控装备智能化通用技术要求》国家标准起草工作组启动会在京召开行业动态|2025-02-18
-
这场民营企业座谈会释放了哪些信号?仪器仪表民营企业迫切希望解决什么问题行业动态|2025-02-18
-
华为上汽强强联手,“尚界”问世将如何搅动电子测试测量行业?行业动态|2025-02-18
-
习近平在民营企业座谈会上强调 民营经济发展前景广阔大有可为 民营企业和民营企业家大显身手正当其时行业动态|2025-02-18
-
2024年机械工业经济运行态势发布:稳中有进,2025年经济指标增速预计5.5%!行业动态|2025-02-17
-
一个百亿级县域产业集群如何实现?仪表之乡的转型路行业动态|2025-02-17