近日，深圳市工信局就前段时间发布的《深圳市关于推动智能传感器产业加快发展的若干措施》（征求意见稿）公布了多项修改措施。

意见稿公示期间，大疆、欢创科技、帧观德芯等多家企业及组织机构提出了修改意见，深圳市工信局做出了增加标准、提高补助、降低部分门槛等多项修改，并于日前公布了修改情况。

附表：社会公众意见采纳情况表

深圳大疆创新科技有限公司

修改意见：

第七项 鼓励开展车规认证 中提到 “鼓励智能传感器相关企业开展AEC-Q100（IC）、101（分立器件）、200（被动组件）可靠度标准”，建议此处是否可以考虑增加AEC-Q102、103、104标准。它们都是AEC-Q系列车规零部件认证标准，仅倾向不同器件类型；如AEC-Q102属于光电类离散器件标准，作为智能传感器的代表之一的车载激光雷达，其内部核心器件光源及探测器就属于必过该项目，国内很多认证机构(如广州计量、赛宝实验室、宜特)也建立了对应测试项目和资源，车厂也认可，完全属于车规认证范畴。

意见采纳情况：

采纳。

深圳市欢创科技有限公司

修改意见：

建议我市大力加强面向机器人行业的智能传感器的建设和投资，对于传感器模组厂商，可以建议放低门槛，将年度采购量超200 万台，单价超70 元的模组，也可以列入补贴对象。

意见采纳情况：

采纳。将调整政策资助门槛。

深圳帧观德芯科技有限公司

修改意见：

1、建议围绕我市产业发展需求、结合国内现有建成的MEMS产线类型，进行有差异、更精准的MEMS产线建设支持。

说明：MEMS传感器包含声学、 压力、 气体、 温度、 红外、 CMOS图像等不同应用类型。现阶段国内MEMS生产线主要集中于长三角和环渤海湾区域，如赛维电子、中芯国际、上海先进半导体、华润微电子等。相较之下，粤港澳大湾区在MEMS传感器产线布局相对落后，这与我市消费电子（智能终端）、汽车电子（新能源汽车）、医疗电子（医疗影像设备）产业在MEMS传感器上的巨大需求不相称；另一方面，一种MEMS芯片对应一种制造工艺，和集成电路芯片全然不同，因此建议在本征求意见稿第（一）、（二）条“积极参与MEMS产线建设并扶持MEMS产线稳健运营”基础上，重点围绕我市产业发展需求，进行更精准地支持。

2、MEMS传感器是将一颗MEMS芯片与一颗专用集成电路芯片(ASIC芯片)封装在一起后形成的器件。在支持MEMS芯片产线建设和运营的基础上，建议同步支持ASIC芯片制造产线的建设。

说明：目前，ASIC芯片制造产线主要集中于长三角地区，粤港澳大湾区有一定差距。MEMS产线建设的同时， ASIC芯片产线的建设和运营至关重要，其中集成电路的制造工艺具有相似性，不同用途的ASIC芯片可共享（中试、量产）产线工艺和设备，因此支持集成电路产线建设，将更好地为我市传感器设计企业提供中试、量产等核心制造服务能力。

3、建议加强公共服务能力建设的同时，大力支持本市智能传感器先进封装测试平台的建设和运营。

说明：MEMS芯片产线建设的同时，配套AISC芯片和封装产线，能在基础设施建设上更好地构建我市智能传感器产业核心技术竞争力、提升效率。

4、建议扩大示范应用的场景范围，如工业制造控制、无人驾驶、智慧医疗、物流运输、智能家居等。

说明：征求意见稿第（八）条中，对于应用场景和示范项目建设范围主要集中在智慧城市治理等方面。深圳市推动城市治理智慧化的确需要大量智能传感器；与此同时，结合我市产业优势及趋势，在制造业数字化转型方面，如工业制造控制、无人驾驶、医疗健康等领域，以及物流运输、智能家居等行业亟需大量智能传感器，因此建议增加应用场景和示范项目建设范围。

5、建议加大国内精密仪器研发与生产企业的支持力度，结合光明科学城“大科学装置建设需求、高校科研院所实验室需求”，引入国产自主研发的高端传感器设备，与国际精密制造业先进企业及相关院所相结合，最终推动建设精密仪器产业基地和示范基地。

说明：征求意见稿第（十）条提出，联合国际精密制造业先进企业及相关院所，全链条引进精密仪器产业中先进的机械设计、工艺开发、精密制造、管理规范等方面的技术、设备、人才及理念”。而精密仪器技术要求高、加工难度大、产量小单价高，国际先进精密仪器企业在国内大多通过代理销售，或由国内提供组装和售后服务，较难实现全链条包括其中核心研发生产环节的引入。《广东省培育精密仪器设备战略性新兴产业集群行动计划（2021-2025 年）》中提出，当前许多国外高端精密仪器、核心元器件和技术引进受阻，亟待快速发展能够替代进口的国产化精密仪器设备，国内精密仪器的自主研发尤为重要。因此建议加大国内精密仪器研发生产企业与国内大科学装置、科研院所需求的联合支持力度。

意见采纳情况：

1.采纳。将在中试线建设方案中明确目标产品品类。

2.采纳。将在中试线建设方案中明确需兼容CMOS工艺。同时，我市也在积极推动相关集成电路产线项目。

3.采纳。将在中试线建设方案中，同步提出相关封测能力建设要求。

4.采纳。将统筹结合其他企业意见，扩大领域范围。

5.部分采纳。政策实施目标主体是深圳企业。一方面，政策中已设计对自主研发，解决材料、装备等“卡脖子”问题的支持政策条款。另一方面，我市现有技术改造等政策，也支持企业引进高端设备，进行技术升级改造。

深圳市意普兴科持有限公司

修改意见：

1、措施第一条第一款及第二款中MEMS只是学术的概念，微型没有明确的定义，比如激光雷达传感器、光栅传感器属不属于措施中“MEMS“的范畴。我们建议应明确界定，以方便相关企业了解政策、享受政策。目前激光雷达、光栅传感是自动化行业的必用的传感器件，对实现2025智能智造意义重大，建议将这类传感器也纳入到支技发展的政策中。

2、措施第三条第十一款中“鼓励下游传感器应用企业联合传感器研发企业联合申报”比如下游企业是让其他企业贴牌生产传感器然后再卖出去，这种属不属于措施中的应用范畴，建议明确界定。

3、建议对享受政策的最低标准结合产业投资的投资现状，适当考虑降低最低门槛。以便让更多企业享受政策，助力相关企业快速成长。

意见采纳情况：

1、采纳。第一、二款是支持MEMS产线建设，再政策文本的其他条款支持范围没有排除其他类型的传感器。

2、采纳。将在后续政策执行中，做出相关界定。

3、采纳。将结合产业现状，拟定具体执行门槛。

深圳煜炜光学科技有限公司

修改意见：

第三部分”强化应用市场牵引发展能力”中的第（八）条“支持打造应用场景形成示范应用”中的涉及的领域建议是否可以增加“智慧无人工厂”及“地理信息测绘”领域。“智慧无人工厂”及“地理信息测绘”也是在智慧城市建设中亟需且量大的应用领域，而激光雷达是这两个应用领域中需要使用到的智能传感器。

意见采纳情况：

采纳。将统筹结合企业共同意见，调整支持领域。

奥比中光科技集团股份有限公司

修改意见：

一、构建产业核心技术竞争能力（七）鼓励开展车规认证“鼓励智能传感器相关企业开展AEC-Q100（IC）、101（分立器件）、200（被动组件）可靠度标准、ISO/TS 16949体系的培训与认证，按照培训和认证费实际发生额的50%给予补贴，最多补贴两年，补贴金额每年最高不超过100万。”

修改建议：鼓励智能传感器相关企业开展AEC-Q100（IC）、101（分立器件）、102、103、200（被动组件）可靠度、IEC60825等标准，以及ISO/TS 16949体系的培训与认证，按照培训和认证费实际发生额的50%给予补贴，最多补贴两年，补贴金额每年最高不超过100万。理由：AEC-Q102、103是激光雷达等传感器的主要标准之一，IEC60825是光学类传感器的强制性标准。

另外，目前像激光雷达行业的车规仍没有形成统一的要求，所以不排除在未来5年里面有一些变化，因此建议增加“等”，避免以后车规标准有新增或者减少。

二、强化应用市场牵引发展能力（十一）鼓励下游应用企业牵头开展联合攻关“鼓励下游传感器应用企业联合传感器研发企业联合申报，采取竞争性遴选、事后资助方式，对单颗年度采购量超过1500万颗、单颗售价超过5元，或单颗年度采购量超过200万颗、单颗售价超过40元SoC（系统级芯片）、SiP（系统级封装）等形态的传感器芯片；或单套年度采购量超过1.5万台、单套售价超过5000元的智能传感器模组，若应用企业、研发企业均为深圳本地企业，给予应用企业年度采购额10%的一次性奖励，企业年度奖励总额不超过2000万元；若应用企业为外地企业，但传感器研发企业为本地企业，给予研发企业同等标准奖励。”

修改建议：鼓励下游传感器应用企业联合传感器研发企业联合申报，采取竞争性遴选、事后资助方式，对单颗年度采购量超过100万颗、单颗售价超过5元，或单颗年度采购量超过20万颗、单颗售价超过40元SoC（系统级芯片）、SiP（系统级封装）等形态的传感器芯片；单套年度采购量超过1.5万台、单套售价超过5000元或单套年度采购量超过50万台、单套售价超过300元的智能传感器模组，若应用企业、研发企业均为深圳本地企业，给予应用企业年度采购额10%的一次性奖励，企业年度奖励总额不超过2000万元；若应用企业为外地企业，但传感器研发企业为本地企业，给予研发企业同等标准奖励。理由：1、智能传感器与普通传感器相比，仍处于应用不断扩展阶段，针对不同应用领域的定制化程度较高，因此单一模组以及单一芯片的需求量不会特别大。此外，传感器底层芯片种类繁多，单个模组中包含多个芯片，并且传感器芯片普遍单价较底。基于上述原因，建议将单颗芯片的年度采购量降低，降低准入门槛，特别是一些新型智能传感器企业也可以获得政策红利，加速其发展。2、智能传感器模组的成本正在逐渐降低，像智能视觉相关的模组比如3D视觉传感器、激光雷达等未来将都会降到5000元以下，在更加普通的消费电子、工业等应用领域，传感器模组的单价甚至大都在几百元，因此建议在模组方面增加数量更多、单价更低的选项。

三、强化应用市场牵引发展能力（十二）支持先进制造业产业基金重点支持智能传感器产业发展。“在先进制造业产业基金中预留不低于50亿元资金重点支持智能传感器产业发展，基金资金投资本地智能传感器企业投资额不低于总投资的一半，投资智能传感器生产制造型企业投资额不低于总投资的一半。”

修改建议：在先进制造业产业基金中预留不低于50亿元资金重点支持智能传感器产业发展，通过设立母基金和直接投资的形式，联合智能传感器龙头企业共同投资。其中，投资本地智能传感器企业投资额不低于总投资的一半，投资智能传感器生产制造型企业投资额不低于总投资的一半。理由：措施中未提供基金具体支持形式，多样化的基金支持，更有利于应用市场的牵引。

四、强化应用市场牵引发展能力（十三）支持行业组织发展“鼓励我市具备行业龙头地位、具有较强研发实力的智能传感器产业链上下游企业牵头组建智能传感器产业联盟、协会等行业组织，支持行业组织打造专业论坛、展会，开展促进行业发展的专业服务活动。”

修改建议：鼓励我市具备行业龙头地位、具有较强研发实力的智能传感器产业链上下游企业牵头组建智能传感器产业联盟、协会等行业组织，支持行业组织打造专业论坛、展会，支持行业组织制定发布的行业标准并推广应用，开展促进行业发展的专业服务活动。理由：标准是强化索引的重要动力，应该予以支持。

意见采纳情况：

一、采纳。已补充相关车规级认证标准的支持。

二、采纳。将适当降低政策资助门槛。

三、采纳。将在基金设立方案中统筹考虑。

四、采纳。

深圳市传感器与智能化仪器仪表行业协会

修改意见：

1.第（一）条，“支持在深建设 MEMS（中试、 量产） 产线”，建议此句前面插入“以政府牵头、企业参与的模式”。

2.第（二）条，“扶持 MEMS（中试、量产）产线稳健运营”，建议修改为“扶持 MEMS（中试、量产）产线和专业孵化器稳健运营”。（理由：传感器行业涉及的链条很长，创业难度较大。专业孵化器可以在很多方便给与创业公司指导）

3.第（二）条，“单个项目（ 企业法人实体） 最多补贴 5 年”，建议此句前面插入“对首轮流片给与一定的补贴”。（理由：传感器单片价值较小，无法直接套用首台套政策。而首轮流片对于传感器的量产有着重要意义）

4.第（三）条，“依托传感器产业上下游企业、协会和研究机构”，建议此句前面插入“由政府牵头”。

5.第（四）条，“支持建设示范智能传感器专业园区”，建议修改为“支持龙岗、坪山、宝安、光明等区建设示范智能传感器专业园区”。（理由：龙岗拥有华为基地先进制造示范区，坪山在建安培龙智能传感器产业园，宝安在建大湾区传感谷，光明在建光明科学城）

6.第（五）条，建议结尾处增加“对于军民融合的涉密项目的配套资金支持，可简化申报材料”。（理由：军工项目很多材料涉密，不便按普通项目标准提交申报材料）

7.第（六）条，建议结尾处增加“鼓励企业颠覆式创新，采用与国外同类产品不同的新的技术路线”。

8.第（七）条，“鼓励开展车规认证”，建议修改为“鼓励开展可靠性试验与认证”。

9.第（七）条，“200（被动组件）可靠度标准”，建议此句后面插入“EMC（电磁兼容）、CCC、UL”。

10.第（八）条，“在智慧水务、能源环保、公共交通、自然环境监测、治安防范、健康养老等领域开展应用场景开发和示范项目建设”，建议修改为“在智慧城市、消费电子、汽车电子、先进制造、能源环保、自然环境监测、生命健康、海洋经济等领域开展应用场景开发和示范项目建设”。（理由：新增应用领域均为深圳优势特色产业，也是传感器典型应用场景。智慧水务、公共交通、治安防范同属智慧城市，健康养老建议修改为生命健康，范围更广。深圳正在建设海洋大学、深海科考基地，海洋产业市场规模约3000亿元，预计未来5年将达到5000亿元。海洋产业应用的生物/生化要素传感器、光学传感器等产品研发周期长、成本高、门槛高。目前海洋产业应用的国产传感器几乎为零，例如6000米水深应用的甲烷/二氧化碳气体传感器进口价格高达40万元/个，海鸟公司生产的一款浮标传感器价格高达50万元/台）

11.第（九）条，建议结尾处增加“对中标产品给与补贴”。

12.第（十）条，“全链条引进精密仪器产业中先进的机械设计、工艺开发、精密制造、管理规范等方面的技术、设备、人才及理念”，建议此句后插入“推动生产线自动化改造，推广智能制造，降低生产成本，提高产品可靠性”。

13.第（十一）条，“鼓励下游传感器应用企业联合传感器研发企业联合申报”，建议修改为“支持产业链对接平台建设，鼓励下游传感器应用企业联合传感器科研院所、研发企业联合申报”。

14.第（十一）条，“单套售价超过 5000 元的智能传感器模组”，建议此句后面插入“或年采购国产传感器总额超过5000万元”。

15.第（十二）条，建议结尾处增加“支持MEMS投融资平台建设，鼓励产融合作，形成财政资金、金融资本、社会资本多方投入的融资格局”。

16.第（十二）条，“支持行业组织打造专业论坛、展会”，建议修改为“由政府主办，行业组织承办智能传感器专业品牌论坛、展会，打造深圳市智能传感器城市名片”。

意见采纳情况：

1.第（一）条，部分采纳。我局一直牵头积极推动智能传感器MEMS有关产线建设：如我局已实地走访备选运营主体，已与相关单位进行了多轮沟通、洽谈，积极细化完善建设方案；已掌握我市智能传感器企业中试技术需求的一手信息；已加快选定MEMS中试线落地场地。但产线的具体建设还是要以市场化机制为主，激发企业主体活力。

2.第（二）条，不采纳。本政策制定主要瞄准市场失灵、失位环节以及政府助力可以加速产业发展的环节。对于市场化等方式可以解决的问题，主要交给市场解决。

3.第（二）条，不采纳。我市现有集成电路政策已有流片支持条款。现有政策可以支持的条目不在本政策中重复体现。

4.第（三）条，部分采纳。我局一直牵头积极推动相关工作，遴选牵头单位并给予大量的指导工作。但具体机构的稳健运营要由市场化机制实现。

5.第（四）条，采纳。

6.第（五）条，不采纳。项目申报应当有统一标准，涉密项目可通过涉密渠道申报。

7.第（六）条，部分采纳。政策中并未排斥企业采用颠覆式技术或采用国外同类产品不同的技术路线。

8.第（七）条，部分采纳。本政策条款明确政策导向，解决车规级、工业级等领域传感器紧缺的问题。

9.第（七）条，采纳。具体支持认证标准将在具体申报指南中体现。

10.第（八）条，采纳。将结合其他企业共同意见，扩大领域范围。

11.第（九）条，不采纳。不符合公平竞争规则。

12.第（十）条，部分采纳。政策聚焦，主要是针对和传感器领域密切相关的精密仪器核心产业环节。

13.第（十一）条，不采纳。主要是为产业链上下游联合解决市场需要解决的产业化问题，企业可自主选择是否和科研院所合作。

14.第（十一）条，采纳。已调整奖励支持门槛。

15.第（十二）条，采纳。

16.第（十二）条，部分采纳。我局一直积极指导有关机构开展论坛、展会工作，但具体论坛、展会的举办要以市场化机制运作为主。

深圳市罗迪传感科技有限公司

修改意见：

1、建议把溅射薄膜这种技术在文件上明确到属于MEMS技术的一种。因为很多政府的工作人员并不懂技术，很多专家，包括深圳压力传感器协会的企业他们都不掌握溅射薄膜技术，会把溅射薄膜这种先进技术被排除到智能传感器之外。

2、对于措施中的第一条“健全技术实现公共服务能力”这里面的措施，最终会证明这没啥用，这种补贴苏州在10年前就用过这一招，他们的MEMS产业园到现在为止都没有培养出行业内有影响力的公司。真正有技术的公司是绝对不会外包这些工艺给第三方代工的，传感器的好坏在工艺控制，不在于理论有多高深，这就是为啥国家每年专项资金投入到传感器不少（持续投入了十几年），到现在为止都做不出高端的传感器，建议深圳不要走这条走不通的老路。传感器的研发是一个技术和工艺结合的工作，做1000个挑一个好的容易，要做1万个里没有一个是坏的很难。

3、建议重点补助那些真正从事研发传感器的公司，可以配套资金补助，可以从运营和设备购买上来补助；

4、建议对主营为传感器的公司在销售收入上进行配套补助；

5、建议成立传感器产业园，对进驻的企业在装修、租金、环保上进行扶植；

6、出台政策应该有操作性，而且能够最大化社会效益和经济效益，建议贵部门把政策做详细一点，减少一些灰色空间，出现企业不支付灰色支出就拿不到补贴这种情况。

7、溅射薄膜技术也属于MEMS里面的一种，都是微机电芯片制造，在很多性能指标上优于传统的MEMS压力传感器。溅射薄膜大批量制造技术，国内企业目前并不掌握，只有国内的一些电子研究所在为军工企业生产少量的压力传感器（他们不掌握大批量制造技术，所以无法量产），无法做到真正的国产替代解决“卡脖子“的问题。

意见采纳情况：

1、采纳。将充分吸取各方专家意见进行评判。

2、不采纳。经前期调研，深圳迫切需要一条MEMS中试线，帮助一批中小企业、初创企业获得快速成长机会，同时兼顾重点企业的部分量产需求。

3、部分采纳。我市已有技术改造相关政策，可以在符合条件的情况下，支持购买设备等技术改造活动。

4、不采纳。直接无门槛对营收补贴不符合公平竞争规则。

5、部分采纳。将推动智能传感器产业园建设。

6、采纳。政策没有考虑设立灰色空间。

7、采纳。将充分吸取各方专家意见进行评判。

关键词:深圳 智能传感器 措施

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来 源：深圳市工业和信息化局

编辑：清风

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