全球几乎所有晶圆厂都要求采用SEMI F47《半导体制程设备电压暂降抗扰度规范》。SEMI F47 要求设备能够免受交流电网中常见的电压骤降的影响。

由于制造加工设备的高敏感性，目前市场上的制造工具对电力质量的要求很高。半导体加工设备尤其易受电压骤降的影响，因为这些事件会导致工艺失败。因此，这些精密设备所使用的电力系统的质量就显得更为重要。

SEMI F47 规范定义了半导体加工和计量 /测试设备所需的最低电压骤降抗扰度。

当前版本的 SEMI F47 规定了半导体制造过程中所用设备的最低电压骤降抗扰度要求。抗扰度以电压骤降深度和电压骤降持续时间表示，以便在交流电源欠压（暂降）不超过额定线电压最大50%且持续时间最长1.7秒的停电事件中，设备能够继续无缝工作，不被中断。该标准的详细规定如下：

纵坐标轴：设备标称电压的百分比

横坐标轴：电压骤降持续时间

符合 SEMI F47 标准的电源必须采用专业优质的设计。 此外，由于晶圆厂的耗电量很大，对电力质量和功率效率的要求越来越高，因此电源本身也必须高效可靠。

EA Elektro-Automatik 作为高效直流电源供应商，可提供符合 SEMI F47 标准要求的电源。EA-10000 系列台式和工业电源凭借碳化硅技术的出色性能，实现了高达 96% 的效率，并能承受规定的电压骤降。SEMI F47 是电源的一项内置功能，可使半导体制程的工艺更加可靠。

EA-10000 系列和 EA-10000工业系列采用先进的能量缓冲功能，即使交流电压出现波动也能确保稳定的直流输出。EA-10000 系列允许制程设备设计师在两种运行模式之间进行选择。

在SEMI F47兼容模式下，最大输出功率会进行调整，以保证电压骤降时的可靠性和直流输出的稳定性。

对于需要全功率且直流输出波动可接受的应用，还提供了一种附加模式。该模式支持电网监控和低电压穿越功能，可保持全功率运行，适用于可承受短暂直流输出变化的工艺（比如热应用）。

用户可自行决定是否使用这两项SEMI F47 功能中的一项。 这两项功能可作为设备菜单中的可调参数进行选择。 对于EA-10000 系列，可直接在前面板触摸显示屏上进行此操作。 对于EA-10000工业系列，可通过 EAPC 等控制软件远程设置该功能。

EA-10000 和 EA-10000 工业系列电源是提高半导体制程设备和工具工艺品质的最佳选择。

关键词:半导体 直流电源 EA-10000 系列

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来 源：EA电源

编辑：清风

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