相信大家都有所了解，半导体制造厂商对供电有着极高的要求，特别是对于电力供应品质要求更高的晶圆相关产业，一旦发生电压瞬降，不仅对敏感的微电脑自动控制设备造成不可预期的伤害，也会使制程中断，而产生极大的损失。为了能保护敏感的设备能够免于电压瞬降的危害，SEMI F47标准规定了半导体制程设备对电压瞬降的耐受等级，要求对通常发生在交流电网中的电压骤降具有“免疫力”。

Q:何谓SEMI F47电压瞬降测试？

电压瞬降通常是指负载端电压值降到额定电压值的90%以下，并持续0.5~60个周期，而SEMI F47是半导体制程设备电压暂降抗扰度规范。在SEMI F47-0706中，以50Hz为例，电压为50%标称值时为10周、电压为70%标称值时为25周、电压为80%标称值时为50周。一些晶圆厂会要求更高等级的耐受，相较F47-0200增加电压瞬降的耐受时间或强度，在电压为0%标称值时为1周，电压为80%标称值时为500周。

艾德克斯始终致力于提供以功率电子为核心的全方位专业测试测量解决方案，全新一代交流电源产品系列IT7800系列大功率可编程电源、IT7900/IT7900P系列回馈式电网模拟器拥有强大的任意波形编辑功能，除了内置的IEC61000-4-11/4-13/4-14/4-28等法规波形外，还可以模拟谐波/间谐波及各种复杂的电网扰动波形，是测试和实验室的理想选择。

测试需求

SEMI F47法规测试

三相输出，其中一相1个周期50Hz(20ms)的瞬降(0V)

通常大家可能会想到用List功能来编辑此波形，这是可以的，然而对于非整数周期，像是60Hz（16.7ms），计算每个单步的持续时间就相对复杂。此时我们可以考虑用突波/陷波功能来轻松实现。

IT7800/IT7900/IT7900P系列可编程交流电源提供突波/陷波的模拟功能，用户可以根据需求在输出的波形基础上加上突波/陷波来模拟电路系统中电压的异常波动，而且突波/陷波可以叠加在任意基础波形上，设置如下：

实测波形如下：

可以看到A相跌落到0，持续时间1个周期，每5个周期出现一次。

IT7800大功率可编程交流电源、IT7900/P回馈式电网模拟器在3U的有限空间里面，提供了高达15kVA的功率输出。单个机柜功率最大可达165kVA，最多可扩展至960kVA。同时相电压输出达350V，具有AC/DC/AC+DC/DC+AC四种输出模式，单相，三相及反相等灵活输出能力。适用于新能源、轨道交通、半导体及科研院校等多个领域的研发、生产、质检阶段。

IT7900电网模拟器还具有孤岛保护测试功能，可用于并网逆变器、储能PCS测试；IT7900P除了可以作为电网模拟器和全四象限功率放大器使用，同时也是一台回馈式的交/直流电子负载。

关键词:半导体 SEMI F47测试 电压瞬降波形

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来 源：艾德克斯电子

编辑：清风

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