近年来，随着各种新型化合物半导体材料技术如氮化镓等器件的蓬勃发展，器件尺寸的不断缩小，电场强度和电流密度却相对增加。器件应用范围不断扩大，应用场景愈来愈复杂，导致集成电路的设计、优化与制造越来越困难。由此，准确的器件测试不但对模型建模分析尤其重要，并且已经成为器件工艺优化本身和后续电路设计不可或缺的环节。

本解决方案基于中电仪器的3672系列高性能多功能矢量网络分析仪平台。用于微波功率半导体芯片On-Wafer设计测试，可直接测试增益、增益压缩、有源交调等参数。兼容市场主流的负载牵引设备，支持有源谐波牵引；兼容市场主流探针台，支持探针台及探针定制；兼容PHD谐波模型的半导体设计和研制，提供双频非线性模型W参数；兼容市场主流设计仿真软件，提供设计仿真工具。提供器件测试、数据分析和模型提取的设计测试解决方案。

功能要点

增益及常规S参数测试功能；

二维增益压缩快速测试功能；

有源互调快速测试功能；

脉冲S参数一体化测试功能；

八通道频谱模式快速测试功能；

无源负载牵引测试功能；

有源负载牵引测试功能；

基于冷源法的等噪声圆测试功能；

热态参数测试测试功能；

放大器功率增益效率测试功能；

功能简介

优化的等功率圆、等效率圆、等增益圆的快速遍历；

模块化的系统配置页面；

在片校准过程控制及数据分析功能，降低人为因素影响，提高测试效率；

支持Cascade/MPI等多种型号探针台；

支持独有的W参数模型，兼容X参数及Cardiff模型；

AWR仿真及半实物仿真，兼容ADS及IC/CAP；

全国快速响应的技术服务与支持。

灵活的有/无源负载牵引测试

在片校准测试实时分析与控制

多种灵活校准方案及自研校准件

支持矢量网络分析仪自带校准程序，提供TRL、SOLT等算法，使用自主研制的校准件，并经过国家计量科学研究院完成溯源定标。

二维增益压缩快速测试

脉冲S参数快速测试功能

内部集成调制解调，可进行窄带和宽带脉冲测试，提供扫频、包络和脉冲点三种测试模式，脉冲过度时间可达10ns。

互调失真及频谱分析的快速测试

功率增益效率快速测试

功率半导体的建模数据分析

对测试数据进行分析，提供脚本解释执行功能。

兼容IC-CAP语法及模型规范。

兼容多种型号探针台

自研探针

可扩展至500GHz

全国快速响应的技术服务与支持

采购方式灵活，支持整套系统采购和在原有设备基础上集成升级。

可进行快速技术支持响应。

功能

增益及常规S参数测试功能；

二维增益压缩快速测试功能；

有源互调快速测试功能；

脉冲S参数一体化测试功能；

八通道频谱模式快速测试功能；

无源负载牵引测试功能；

有源负载牵引测试功能；

基于冷源法的等噪声圆测试功能；

热态参数测试功能；

放大器功率增益效率测试；

支持Cascade/MPI等多种探针台；

支持主流功率半导体建模仿真软件；

支持主流的行为模型，独家发布W参数模型；

微波探针台与探针定制；

支持功率半导体材料微波显微测试；

…

应用

常规功率半导体器件S参数测试；

功率半导体器件建模；

功率半导体管芯及芯片的在片测试；

超宽带大功率宽禁带半导体设计；

放大器的有源负载牵引测试；

THz频段芯片及器部件的在片研究；

功率半导体材料的失效分析。

关键词:半导体 测试 氮化镓 分析仪 芯片

浏览量：10976

来 源：中电仪器

编辑：伊敏

声明：凡本网注明"  来源：仪商网"的所有作品，版权均属于仪商网，未经本网授权不得转载、摘编使用。
经本网授权使用，并注明"来源：仪商网"。违反上述声明者，本网将追究其相关法律责任。
本网转载并注明自其它来源的作品，归原版权所有人所有。目的在于传递更多信息，并不代表本网赞同其观点或证实其内容的真实性，不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。如有作品的内容、版权以及其它问题的，请在作品发表之日起一周内与本网联系，否则视为放弃相关权利。
本网转载自其它媒体或授权刊载，如有作品内容、版权以及其它问题的，请联系我们。相关合作、投稿、转载授权等事宜，请联系本网。
QQ：2268148259、3050252122。