压力传感器广泛应用于工业现场，石油石化，航空航天的各个领域，通常根据使用的量程可以划分为低压700kPa以下，中压（700kPa到7MPa）和高压7MPa以上，部分应用可以达到70MPa 以上的更高压力。

在压力传感器生产制造工艺过程中，补偿校准成为其中最为关键部分，用来确保传感器达到预定的精度等级输出。压力传感器的补偿，分为温度补偿和零满度补偿。温度补偿用来修正敏感元件等器件因为温度产生的漂移和偏差，零满度补偿主要是修正生产工艺中，敏感元件因为压力在零点和满量程下产生的输出偏差。在压力传感器实际应用环境中，压力和温度变化往往会同时存在， 因此在生产工艺校准中，需要在温度补偿过程中同时对传感器的零满度进行补偿。补偿校准过程需要提供压力传感器所需要的稳定高低温环境和零满度压力基准。温度环境通常由高低温环境试验箱等提供，通常控温精度为±2度左右， 压力基准一般可以根据传感器的精度等级选择不同的基准器，例如工作级活塞，自动压力控制器等。

在压力传感器的生产补偿校准工艺中，通常选择自动的压力控制器来作为压力基准。稳定精准的压力基准对传感器的高精度准确输出尤为重要。Fluke 6270A和8270A/8370A系列压力控制器，可以实现从真空到高压100MPa的压力全覆盖，支持表压、绝压、差压测量。模块化的压力测量设计，可以实现在一台压力控制器上自由切换不同量程，较高的控制可调比（6270A为10:1， 8270A/8370A为100:1），可以在较高的供气压力下覆盖全量程的精确压力控制输出，全气体介质适用于部分对工艺洁净度要求较高的压力传感器补偿校准，例如医疗，食品和半导体应用领域。

关键词:压力传感器 校准补偿 补偿校准

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来 源：福禄克公司

编辑：清风

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