光刻机是制造芯片的核心装备，世界上只有少数厂家掌握了尖端光刻机的曝光系统和光刻技术，核心芯片制造技术牢牢把握在了资本厂商手中，把控了多条科技命脉。提高光刻机研发技术水平，是发展中国集成电路产业的核心要务。

光刻机追求高分辨率和高精度对准，要求在μm距离范围内，进行多层曝光，并且层间图案定位精准。所以，要为如此精细工作的光刻机提供测试服务，测试电源也必须拥有高压、高频、高精度、高速响应速度等强度耐力。

航裕电源，致力于服务国家战略，十年来服务于各大军工院所和高校，为国家国防军工、航空航天等高科技研发测试提供高品质测试电源。此次，航裕电源为满足国家光刻机研发测试需求，再次突破技术难关，电源上升时间最快达到100μs以内，输出电压最大50kV，输出电流单机最大10000A，可并联至50000A，高功率密度达单机最大5kW/2U，可串联、并联，组装于集成柜，获得更大功率。

长春国科精密光学技术有限公司前身为中国科学院长春光学精密机械与物理研究所超精密光学工程研究中心。致力于极大规模集成电路光刻投影光学、显微光学、多光谱融合成像探测、超精密光机制造等领域的高技术研究，同时开展相应高端光学仪器与装备产品的研发工作。去年，长春国科购置了航裕电源HY-PMC系列可编程12通道直流电源，用于继续推动光刻机等科研发展。

HY-PMC 可编程多通道直流电源    

产品特点

■ 高精度

■ 高分辨率：1mV/ 1mA

■ 线性放大技术，超低纹波噪声

■ 两通道以上输出，最多可达120通道

■ 80种电压/电流组合，可供用户自由选择

■ 恒压CV/恒流CC，CV/CC优先可设

■ 支持前面板编程，无须上位机软件控制

■ 上升和下降斜率可调（电压/电流）

■ 电源输出软启动功能，应对感性负载

■ 16 bits D/A 高精度转换器，输出精确

■ 20 bits A/D 高精度转换器，回读更准

■ 多重保护功能 OVP / OCP / OTP

■ 19 英寸标准机架尺寸

■ 4 英寸超大液晶显示屏

■ 触摸屏操作 & 数字按键输入

■ 多级飞梭调节旋钮

■ 电源输入采用断路器控制 ，更加安全（3U）

■ 输出 ON / OFF 按键

■ 标配远端测量端子，补偿输出线压降

■ 风机智能调速设计，减少噪音

■ 前面/侧面进风 ，后部出风，节省散热空间

■ 支持 Modbus 和 SCPI 协议

■ 标配接口：RS-485 & RS-232、Digital I/O

■ 选购接口：LAN & CAN、USB GPIB 模拟量编程和监测（隔离型）

8通道产品外观

HY-HV 可编程高压直流电源    

产品特点

■ 输出电压最大50kV

■ 高功率密度：单机最大100kW

■ 支持前面板编程，无须上位机软件控制

■ 电压上升和下降斜率可调

■ 电源输出软启动功能

■ 16 bits D/A 高精度转换器，输出精确

■ 16 bits A/D 高精度转换器，回读更准

■ 多重保护功能 过温、开路保护

■ 19 英寸标准机架尺寸

■ 7 英寸超大液晶显示屏

■ 触摸屏操作 & 数字按键输入

■ 多级飞梭调节旋钮

■ 电源输入采用断路器控制 ，更加安全

■ 输出 ON / OFF 按键

■ 风机智能调速设计，减少噪音

■ 前面/侧面进风 ，后部出风，节省散热空间

■ 支持 Modbus 协议

■ 标配接口：RS-485&RS-232

■ 选购接口：LAN&CAN USB GPIB 模拟量编程和监测（隔离型）

HY-PM 可编程多功能直流电源    

产品特点

■ 2U机型输出额定电流510A，最大电流550A

■ 高功率密度：单机最大 5kW / 2U

■ 工作模式：恒压 CV、恒流 CC，CV / CC 优先可设

■ 输入标配 PFC，功率因素高达 0.99（5 kW / 2U）

■ 支持前面板编程，无须上位机软件控制

■ 上升和下降斜率可调（电压/电流）

■ 电源输出软启动功能，应对感性负载

■ 16 bits D/A 高精度转换器，输出精确

■ 20 bits A/D 高精度转换器，回读更准

■ 多重保护功能 OVP / OCP / OTP

■ 19 英寸标准机架尺寸

■ 4 英寸超大液晶显示屏

■ 触摸屏操作 & 数字按键输入

■ 多级飞梭调节旋钮

■ 电源输入采用断路器控制 ，更加安全（3U）

■ 输出 ON / OFF 按键

■ 标配远端测量端子，补偿输出线压降

■ 风机智能调速设计，减少噪音

■ 前面/侧面进风 ，后部出风，节省散热空间

■ 支持 Modbus 和 SCPI 协议

■ 标配接口：RS-485 & RS-232、Digital I/O

■ 选购接口：LAN & CAN、USB GPIB 模拟量编程和监测（隔离型）

■ 可串联、并联，组装于集成柜

HY-PM系列多功能直流电源上升时间实测：8.446ms

HY-HS系列高速直流电源上升时间实测：161.9μs

关键词:航裕电源 光刻机测试 解决方案

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来 源：航裕电源

编辑：清风

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