随着超精密加工技术的不断进步，各种微纳结构元件广泛应用于超材料、微电子、航空航天、环境能源、生物技术等领域。其中超精密3D显微测量技术是提升微纳制造技术发展水平的关键，中图仪器自主研发的白光干涉扫描和共聚焦3D显微形貌检测技术，广泛应用于涉足超精密加工领域的三维形貌检测与表面质量检测方案。其中，VT6000系列共聚焦显微镜，在结构复杂且反射率低的表面3D微观形貌重构与检测方面具有不俗的表现。

一.结构深、角度大

电子产品中一些光学薄膜表面存在一些特殊的微结构，这些结构表现为窄而深的“V形”、“金字塔”。白光干涉仪在测量此类结构时，由于形貌陡峭、角度大，无法形成干涉条纹信号，或条纹宽度过窄而无法准确地解调出深度信息。

VT6000系列共聚焦显微镜基于针孔点光源的共轭共焦原理，其依托弱光信号解析算法可以完整重建出近70°陡峭的复杂的结构形状。

二.反射差、信号弱

碳纤维纸类的表面反射率极低，结构复杂且呈立体状。白光干涉仪因其对样品表面反射形成的干涉条纹光信号对比度要求较高，而碳纸表面纤维丝的立体角度大，导致部分位置因反射率极低形成的干涉条纹对比度较低甚至无法形成干涉条纹，从而难以解调出深度信息。

VT6000系列共聚焦显微镜在此展现出其特有的弱光信号解析能力优势，对样件表面的低反射率特性适应能力更强。

中图仪器以其自主研发的共聚焦显微镜，与早前推出的白光干涉仪一起，构成光学3D显微测量领域的姊妹双姝，为国内超精密加工与微纳制造领域提供更全面、更专业的3D显微形貌检测方案。

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来 源：中图仪器

编辑：仪器仪表WXF

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